7 এনএম ওয়েফার থেকে উন্নত প্যাকেজিং পর্যন্ত, প্রতিটি নতুন নোড বৈশিষ্ট্যের আকারকে শারীরিক সীমার দিকে ঠেলে দেয় এবং "পরিষ্কার"-একবার একটি পটভূমি পদক্ষেপ-একটি ন্যানোমিটারে- বা এমনকি অ্যাংস্ট্রম-স্তরের মিশনে পরিণত করে৷ প্রথাগত ফ্লুরোকার্বন (CFC-113, PFC) অ-দাহনীয় এবং কম বিষাক্ত, কিন্তু তাদের ওজোন-ক্ষয় বা উচ্চ-GWP প্রোফাইলগুলি বিশ্বব্যাপী নিষিদ্ধ করেছে৷ জলীয় রসায়ন, ইতিমধ্যে, প্রায়ই জলের চিহ্ন রেখে যায়, ধাতুগুলিকে ক্ষয় করে এবং প্রচুর পরিমাণে শুকানোর শক্তি গ্রহণ করে।হাইড্রোফ্লুরোইথার (HFE), শূন্য ODP, কম GWP, অ-দাহ্যযোগ্যতা এবং শূন্য অবশিষ্টাংশের সংমিশ্রণ, দ্রুতই ফ্যাব ইঞ্জিনিয়ারের নতুন প্রিয় হয়ে উঠেছে এবং এখন উচ্চ-পরিষ্কার পরিচ্ছন্নতার চূড়ান্ত সবুজ প্রতিস্থাপন হিসাবে বিবেচিত হয়৷
1. কেন HFE ফ্লোরিন দ্রাবক সেমিকন্ডাক্টর পরিষ্কার করতে পারে
আণবিক প্রকৌশল সুষম কর্মক্ষমতা প্রদান করে
একটি ইথার অক্সিজেন কার্বন কঙ্কালের মধ্যে আটকে থাকে এবং অবশিষ্ট ভ্যালেন্সগুলিকে হাইড্রোজেন দিয়ে আবদ্ধ করা হয়, যা গ্রীনহাউসের প্রভাব এবং বিষাক্ততা কাটানোর সময় ফ্লুরোকার্বনের রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা এবং নিম্ন মেরুতা রক্ষা করে। একটি উদাহরণ হিসাবে মূলধারার গ্রেড HFE-347 (C₃H₃F₇O) নেওয়া:
স্ফুটনাঙ্ক 56.2 ডিগ্রী; দ্রুত, জল{1}}মার্ক-মুক্ত শুকানোর জন্য ঘরের তাপমাত্রায় উচ্চ বাষ্পের চাপ
সারফেস টান মাত্র 16.4 mN m⁻¹, 10 nm পরিখা ভেদ করে এবং "উদ্ধরণ" কণা এবং ফটোরেসিস্ট টুকরা
ডাইইলেকট্রিক শক্তি 40 kV, গেট ছাড়াই লাইভ-টুল পরিষ্কার করার অনুমতি দেয়-অক্সাইড ভাঙ্গন
কোন ফ্ল্যাশ পয়েন্ট নেই, শূন্য বিস্ফোরণের সীমা, অবিলম্বে ফ্যাব ফায়ার-বিপদ রেটিং কমিয়ে দেয়
চমৎকার উপাদান সামঞ্জস্য
Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg সোল্ডার, লো-k ডাইলেক্ট্রিক, PI, LCP, FR-4; PR, BARC, SiO₂, Si₃N₄-ডিভাইস স্ট্রাকচারের উচ্চ নির্বাচনীতা অক্ষত থাকে।
নিয়ন্ত্রক এবং ECO-বান্ধব
ODP=0, GWP ≈ 540, বায়ুমণ্ডলীয় জীবনকাল < 1 বছর, EU VOC, RoHS, REACH এবং চীনের ODS- বিকল্প রোডম্যাপ। খরচ করা তরল পাতিত এবং পুনর্ব্যবহৃত করা যেতে পারে > 10 বার, মালিকানার মোট খরচ (TCO) 15-25% কমিয়ে।
নির্দিষ্ট দূষণকারীর জন্য চমৎকার পরিষ্কারের কার্যকারিতা
যদিও সমস্ত জৈব পদার্থের জন্য সর্বজনীন দ্রাবক নয়, HFE গুলি তাদের লক্ষ্য অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অত্যন্ত কার্যকর:
পারফ্লুরিনেটেড লুব্রিকেন্ট এবং গ্রীস অপসারণের জন্য দুর্দান্ত: সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন সরঞ্জামগুলির মধ্যে ভ্যাকুয়াম সিল, ভালভ এবং রোবোটিক্সে ব্যবহৃত পারফ্লুরোপোলিথার (PFPE) এবং Krytox™{0}} ধরনের লুব্রিকেন্টগুলি অপসারণের জন্য তারা পছন্দের দ্রাবক।
ফ্লাক্স রেসিডিউ এবং আয়নিক দূষকগুলির উপর কার্যকরী: যখন স্টেবিলাইজার বা কো{0}}দ্রাবক দিয়ে তৈরি করা হয়, তখন তারা জল ছাড়াই সোল্ডারিং ফ্লাক্স এবং কণা দূষণ অপসারণ করতে পারে।
কোন অবশিষ্টাংশ সঙ্গে স্পষ্টতা শুকানো
HFE-এর বৈশিষ্ট্যগুলির একটি অনন্য সমন্বয় রয়েছে যা নিখুঁত "ড্রপ ড্রাইং" সক্ষম করে:
নিম্ন পৃষ্ঠের উত্তেজনা এবং উচ্চ আর্দ্রতা: তারা জটিল জ্যামিতি এবং নিম্ন-স্থায়ী উপাদানগুলির মধ্যে প্রবেশ করে।
উচ্চ উদ্বায়ীতা: এগুলি জলের দাগ বা আয়নিক অবশিষ্টাংশ না রেখে সম্পূর্ণ এবং দ্রুত বাষ্পীভূত হয়, যা উচ্চ-ফলন উৎপাদনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ৷
প্রক্রিয়া দক্ষতা এবং বহুমুখিতা
এইচএফইগুলি নমনীয় এবং দক্ষ পরিষ্কারের পদ্ধতিগুলি সক্ষম করে:
বাষ্প কমানোর সামঞ্জস্যতা: তাদের অস্থিরতা এবং স্থায়িত্ব তাদের আধুনিক, আবদ্ধ বাষ্প ডিগ্রীজারের জন্য আদর্শ করে তোলে, যা দ্রাবক-দক্ষ এবং জটিল অংশগুলির জন্য উচ্চতর পরিচ্ছন্নতা প্রদান করে।
কো-দ্রাবক "জিপ" পরিষ্কার করা: অ্যাজিওট্রপিক বা নন-অ্যাজেওট্রপিক অ্যালকোহল (যেমন আইপিএ) বা হাইড্রোকার্বনের সাথে মিশ্রিত মিশ্রনগুলি প্রথমে মেরু/জৈব দূষকগুলিকে দ্রবীভূত করতে পারে, যা পরে বিশুদ্ধ এইচএফই দ্বারা ধুয়ে ফেলা হয়, একটি সম্পূর্ণ শুষ্ক, মুক্ত পৃষ্ঠ রেখে যায়৷{2}}
অটোমেশনের সাথে সামঞ্জস্যতা: তাদের বৈশিষ্ট্যগুলি স্বয়ংক্রিয় পরিচ্ছন্নতার সিস্টেমে একীকরণের অনুমতি দেয়।
শ্রমিক নিরাপত্তা সুবিধা
কম বিষাক্ততা: উচ্চ এক্সপোজার সীমা সহ তাদের কম তীব্র এবং দীর্ঘস্থায়ী বিষাক্ততা রয়েছে (সাধারণত উচ্চ থ্রেশহোল্ড সীমা মান - টিএলভি)।
মনোরম গন্ধ: অনেক আক্রমনাত্মক দ্রাবক থেকে ভিন্ন, এগুলি সাধারণত হালকা-গন্ধযুক্ত, কর্মক্ষেত্রে গ্রহণযোগ্যতা উন্নত করে।
অ-দাহনীয়তা: বাল্ক পরিষ্কারের ক্ষেত্রে IPA বা অ্যাসিটোনের মতো দ্রাবকগুলির সাথে সম্পর্কিত আগুন এবং বিস্ফোরণের ঝুঁকি দূর করে।
2. সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবসে তিনটি মূল অ্যাপ্লিকেশন
উ: ওয়েফার-স্তরের নির্ভুলতা পরিষ্কার করা
লিথোগ্রাফি, ইচ বা ইমপ্লান্টের পরে, জৈব ধ্বংসাবশেষ এবং ধাতব আয়ন <10 nm অবশিষ্ট থাকে। HFE এর কম সান্দ্রতা এবং উচ্চ অনুপ্রবেশ 30 সেকেন্ডের মধ্যে পরিখার কণার সংখ্যা > 500 ea cm⁻² থেকে < 10 ea cm⁻² পর্যন্ত হ্রাস পায়; 40 kHz আল্ট্রাসোনিক্স বা জেট, ধাতব-আয়ন (Cu²⁺, Fe³⁺) অপসারণ > 99.9%, পরবর্তী ALD বা CVD-এর জন্য একটি "পারমাণবিক-স্কেল" পৃষ্ঠ প্রদান করে।
B. ফটোরেসিস্ট স্ট্রিপিং এবং পোস্ট-ছাইয়ের অবশিষ্টাংশ অপসারণ
প্রচলিত SPM (H₂SO₄/H₂O₂) বা অ্যামাইন স্ট্রিপারস Cu/Low-k; একটি পাতলা HFE-ভিত্তিক স্ট্রিপার KrF, ArF এবং EUV সম্পূর্ণরূপে 60 ডিগ্রীতে 5 মিনিটের মধ্যে দ্রবীভূত করে টিআইএন হার্ড মাস্ক বা Cu লাইনের শূন্য ক্ষতি সহ, ইতিমধ্যে 14 এনএম এর নীচে নোডের জন্য যোগ্যতা অর্জন করেছে।
গ. উন্নত প্যাকেজিং এবং মাইক্রো-বাম্প পরিষ্কার করা
TSV বা মাইক্রো-বাম্প গঠনের পর, ফ্লাক্স এবং লেজার-5 µm ব্লাইন্ড ভিয়াস ড্রিল কার্বন বাম-ফিল ভয়েডিং এবং হাই-পাটের ব্যর্থতার কারণ। একটি HFE অ্যাজিওট্রপ (HFE + co-দ্রাবক + ক্ষয় প্রতিরোধক) 2 মিনিটের জন্য 25 ডিগ্রিতে স্প্রে করে, 98% > অবশিষ্টাংশ অপসারণ করে, EMC, PI এবং Cu স্তম্ভের সাথে 100% সামঞ্জস্যপূর্ণ, এবং FC- ভলিউমে NMP এবং অ্যাসিটোন প্রতিস্থাপন করেছে৷
3. বাজার আড়াআড়ি এবং চীন স্থানীয়করণ
গ্লোবাল: 3M Novec পরিবারের এখনও > 60% শেয়ার রয়েছে, বার্ষিক বিক্রয় ≈ 5 কেটি, রাজস্ব ≈ USD 1.6 B; 2025 সাল নাগাদ USD 2.3 বি এ পৌঁছানোর পূর্বাভাস।
ঘরোয়া: হাওহুয়া, ক্যাপচেম, বেইজিং ইউজি এবং জুহুয়া উচ্চ-বিশুদ্ধতা (99.999% এর চেয়ে বেশি বা সমান) সংশ্লেষণ এবং পাতন করেছে, SMIC, YMTC এবং হাইসিলিকন যোগ্যতায় উত্তীর্ণ হয়েছে এবং এখন 3M-এর পরিবর্তে ড্রপ-অফার করছে৷
আউটলুক: 3D NAND, GAA-FET এবং Chiplet আর্কিটেকচারের বিস্তৃতির সাথে, নিম্ন-সারফেস-টেনশন, উচ্চ-নির্বাচন ক্লিনারের চাহিদা > প্রতি বছর 20% বৃদ্ধি পাচ্ছে; HFE, একটি পরিপক্ক ODS বিকল্প, উপকৃত হতে থাকবে।
HFE hydrofluoroether একটি নিছক "সবুজ স্লোগান" নয়। এর উপযোগী আণবিক কাঠামো পরিষ্কার করার শক্তি, উপাদানের সামঞ্জস্য এবং পরিবেশগত পদচিহ্নের মধ্যে মিষ্টি স্থানকে আঘাত করে। এটি ফ্যাবসকে ওজোন স্তর বা কার্বন বাজেটের খরচ ছাড়াই মুরের আইন অনুসরণ করতে দেয় এবং OSAT-কে ছোট ছোট বাম্প থেকে বিশাল প্যানেল পর্যন্ত সবকিছুর জন্য একটি সর্বজনীন "ধোয়া-এবং-শুষ্ক, শূন্য-অবশিষ্ট" রেসিপি দেয়৷ চীনের -উচ্চ বিশুদ্ধতা এইচএফই এখন বৃদ্ধি পাচ্ছে, নির্ভুল পরিচ্ছন্নতার সবুজ বিপ্লব মাত্র শুরু হয়েছে।
HFE hydrofluoroether খোঁজা ব্যবসার জন্য, আমাদের কোম্পানি প্রতিযোগিতামূলক মূল্য, নির্ভরযোগ্য সরবরাহ এবং প্রযুক্তিগত সহায়তা প্রদান করে। আরো বিস্তারিত জানার জন্য আজ আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন!
