এসএফ 6, বা সালফার হেক্সাফ্লোরাইড, এমন একটি গ্যাস যা সাধারণত শুকনো এচিংয়ে ব্যবহৃত হয়, মূলত সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে সিলিকন এচিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়। এসএফ 6 গ্যাসের একটি অক্টেহেড্রাল কাঠামো রয়েছে, যার মধ্যে ছয়টি ফ্লুরিন পরমাণু দ্বারা বেষ্টিত একটি কেন্দ্রীয় সালফার পরমাণু নিয়ে গঠিত। এর অ-মেরু বৈশিষ্ট্যগুলি এটিকে উচ্চ-ভোল্টেজ বৈদ্যুতিক সরঞ্জামগুলিতে একটি অন্তরক গ্যাস তৈরি করে। এসএফ 6 এর শারীরিক বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে বর্ণহীন, গন্ধহীন, অ-ফ্ল্যামেবল, অ-বিষাক্ত, অন্তরক, বায়ুর চেয়ে ভারী, শীতল ক্ষমতা, উচ্চ ডাইলেট্রিক শক্তি, তাপীয় স্থায়িত্ব এবং জলে দুর্বল দ্রবণীয়তা অন্তর্ভুক্ত রয়েছে তবে অ-মেরু জৈব দ্রাবকগুলিতে দ্রবণীয়।
রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের ক্ষেত্রে, এসএফ 6 ঘরের তাপমাত্রায় অন্যান্য পদার্থের সাথে খুব কমই প্রতিক্রিয়া জানায় তবে শক্তিশালী অতিবেগুনী আলোর অধীনে পচে যায়।
এসএফ 6 সাধারণত শিল্প দ্বারা উত্পাদিত হয় এবং এর প্রকৃতির বিষয়বস্তু খুব ছোট। এসএফ 6 উত্পাদনের জন্য প্রতিক্রিয়া সমীকরণটি হ'ল:
2 Cof₃ + sf₄ + [Br₂] → sf₆ + 2} Cof₂ + [Br₂]
যখন SF₄, Cof₃ এবং Br₂ একসাথে মিশ্রিত হয় এবং 100 ডিগ্রি উত্তপ্ত হয়, তখন তাদের মধ্যে একটি প্রতিক্রিয়া ঘটে। এই প্রতিক্রিয়াতে, SF₄ এবং Cof₃ এর একটি অংশ SF₆ এবং Cof₂ উত্পাদন করতে প্রতিক্রিয়া দেখায় ₂ ব্রোমিন প্রতিক্রিয়াতে গ্রাস করা হয় না, এটি কেবল অনুঘটক হিসাবে কাজ করে।
এসএফ 6 কি বিপজ্জনক?
যদিও এসএফ 6 এর খাঁটি অবস্থায় অ-বিষাক্ত, এটি বায়ু থেকে অক্সিজেন স্থানচ্যুত করবে এবং বাতাসে 19% এর বেশি পরিমাণে ঘনত্বের ঘনত্বের ফলে শ্বাসরোধের কারণ হবে। অতএব, সময়মতো এসএফ 6 ফাঁস সনাক্ত করা এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়াতে যথাযথ প্রতিরোধমূলক ব্যবস্থা গ্রহণ করা খুব গুরুত্বপূর্ণ।
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে এসএফ 6 ব্যবহার
এসএফ 6 সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। সিলিকন এচিং প্রক্রিয়াতে, এসএফ 6 প্রধান এচিং গ্যাস হিসাবে ব্যবহৃত হয় এবং এটি গভীর সিলিকন এচিং অর্জনের জন্য উত্পন্ন উদ্বায়ী গ্যাস এসএফ 4 এবং সি 4 এফ 8 এর সাথে একত্রে কাজ করে। তদতিরিক্ত, এসএফ 6 প্রায়শই এমও এবং ডাব্লু ধাতুগুলির শুকনো এচিংয়ের জন্য ব্যবহৃত হয়, এই ধাতুগুলির সাথে প্রতিক্রিয়াশীল হেক্সাফ্লুওরাইডস এমওএফ এবং ডাব্লুএফএ উত্পাদন করতে ₆ যদিও এসএফ 6 অ্যালুমিনিয়াম এচিংয়ের জন্য পছন্দসই গ্যাস নয়, সিএল ₂ এর মতো গ্যাসের সাথে মিশ্রিত হলে এটি অ্যালুমিনিয়ামের এচিং হার বাড়ানোর জন্য সহায়ক গ্যাস হিসাবে ব্যবহার করা যেতে পারে ₂
সিলিকন এচিং
সিলিকন এচিং পদক্ষেপে, কেবল প্যাসিভেশন ফিল্মটি সরানো হয়েছে নীচে থাকা সিলিকনটি এচড করা হয়েছে। এসএফ 6 গ্যাস চালু করা হয়, এবং এসএফ 6 প্লাজমাতে বিচ্ছিন্ন করা হয় যা অত্যন্ত সক্রিয় ফ্লুরিন পরমাণু (এফ) সহ বিভিন্ন পচনশীল পণ্য তৈরি করতে।
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
উত্পাদিত ফ্লুরিন পরমাণু সিলিকন পৃষ্ঠের সাথে সিলিকন টেট্রাফ্লোরাইড (এসআইএফ 4) উত্পন্ন করতে প্রতিক্রিয়া দেখায়, একটি অস্থির যৌগ যা চেম্বার থেকে সহজেই স্রাব করা হয়।
Si+4F-->Sif4
নীচে প্যাসিভেশন স্তর এচিং
এই পর্যায়ে, সাইডওয়াল এবং নীচে উভয় ক্ষেত্রেই একটি প্যাসিভেশন স্তর গঠিত হয়। তবে, আমরা কেবল পাশের ওয়ালটি এচড হওয়া থেকে রক্ষা করতে প্যাসিভেশন স্তরটি সাইডওয়ালে রাখতে চাই, তবে নীচের দিকে এচ করার জন্য আমাদের নীচে প্যাসিভেশন স্তরটি সরিয়ে ফেলতে হবে। অতএব, নীচে প্যাসিভেশন স্তরটি আক্রমণ করার জন্য এই সময়ে এসএফ 6 গ্যাস চালু করা হবে। নীচের অংশে প্যাসিভেশন স্তরটি অদৃশ্য হয়ে যাওয়ার পরে, এসএফ 6 সিলিকনটি আটকে রাখতে থাকে এবং চক্রটি কখনও শেষ না হওয়া লুপের মতো পুনরাবৃত্তি করে।
চীনে ওয়ান স্টপ এসএফ 6 সালফার হেক্সাফ্লোরাইড কারখানা
সালফার হেক্সাফ্লোরাইড এসএফ 6 গ্যাস সম্পর্কে আপনার তদন্ত আমাদের কাছে প্রেরণ করুন!
আমরা আপনার ক্রয়ের প্রয়োজনীয়তা মেটাতে উচ্চমানের এসএফ 6 গ্যাস এবং পরিষেবা সরবরাহ করব।
এখনই তদন্ত প্রেরণ করুন
